微電子技術的瞄準與定位技術

引導語：瞄準與定位是光學儀器的重要環節之一。下面就由小編來帶着大家一起看看什麼是微電子技術的瞄準以及定位吧，趕緊學習起來哦!

　　瞄準與定位是光學儀器的重要環節之一。

隨着微電子技術的應用，瞄準技術己由人眼瞄準向自動對準方向發展，既排除了人眼瞄準的主觀誤差，提高了儀器的瞄準精度，又使儀器限制，其最好精度也只能達到0.2～0.3 gm。隨後發展起來的光電對準方法對標尺刻線像進行對準，不但提高了對準精度，而且使對準和測量自動化成為可能。

光電對準的實質是：通過一定的光電轉換系統，將被對準的線紋與一個選定的測量基線之間的位置關係用電信號來描述，然後以電信號的相位關係、幅度關係或脈衝的寬度比例等作為對準的依據。在對準系統中，通常利用聚光系統和顯微成像系統將線紋放大：同時在光路中加入一些特殊的部件(如雙狹縫、振動鏡等)來對影像進行一定的調製，投影到光電接收器上，最後經電路放大顯示出來。光電顯微鏡的對準精度可達0.01～0.05 gm，可實現自動化測量;光電準直管的對準精度可達0.1″，甚至更高。

隨着電子技術的發展，光電自動對準系統應運而生，光電自動對準系統由高質量的光學圖像傳遞系統、信噪比好的光電轉換系統、能提供高反差的對準標記、三個自由度微位移機構、高靈敏度的電子處理和控制系統等幾部分組成，它實際上是一個閉環控制系統，即根據對準標記X，Y，θ三個自由度的`座標偏差量，驅動微位移機構按座標偏差量進行自動補償，直到對準誤差在允許的範圍內。

　　2.讀數測微技術

讀數測微系統形式很多，按讀數方式可分為機械式、光學式和數字式三種。機械式讀數測微是利用機械結構對微小尺寸進行細分讀數，最常用的是絲桿測微器;光學式讀數測微是利用光學放大原理，把標尺或度盤上刻線間隔通過物鏡放大後成像在分劃板上(或直接成像在投影屏上)，經測微器細分後，再通過目鏡(或投影測微器)進行讀數;數字式讀數測微是利用計量光柵或光電碼盤以及其他光學方法，將光信號轉換成電信號，再對電信號進行電子細分，最後用數字顯示，它具有測量精度高(可達亞微米級)、讀數快(讀數速率可達每秒數萬次以上)、分辨率高(可達0.1μm)、易實現自動化等特點。

　　3.簡化儀器結構

在光學儀器中，貴重的精密機械部件、機械光學部件和機電元件可用電子器件或簡單的機械部件與微電子器件的結合來代替。例如，在三座標測量機中，原用裝有機電傳動的精密機械導向裝置，現改用裝有增量發送器和微型計算機的反饋式伺服傳動裝置，降低了對機械部件的精度要求;又如，機械變速機構可用裝有伺服電動機的反饋傳動系統代替，利用面陣CCD器件可以取代機械式十字台、步進電動機和圖像掃描儀等。這些改進都大大地簡化了儀器結構。